鎢銅合金為什么要鍍金?難點(diǎn)在哪里?怎樣在保證附著力的同時(shí)兼顧導(dǎo)電、耐蝕、可焊/可鍵合與外觀穩(wěn)定?圍繞這些問(wèn)題,從材料特性、工藝路線(xiàn)、關(guān)鍵參數(shù)、可靠性到量產(chǎn)管控,系統(tǒng)梳理一套可落地的做法。
一、先明確目的:為什么要在鎢銅上鍍金
鎢銅(W?Cu)兼具高導(dǎo)熱、高耐蝕、低熱膨脹與高溫強(qiáng)度,常見(jiàn)于半導(dǎo)體散熱基板、微波器件法蘭、真空部件、點(diǎn)焊電極等。然而其表層的鎢骨架與銅相化學(xué)活性與電位差異大,裸材存在以下痛點(diǎn):
易氧化與變色:銅相暴露導(dǎo)致表面快速失光、易污染。
可焊/可鍵合性不穩(wěn)定:裸銅易被氧化膜與污染破壞潤(rùn)濕;鎢面更難直接實(shí)現(xiàn)可靠焊接或金絲鍵合。
接觸電阻與長(zhǎng)期穩(wěn)定性:潮熱、硫化環(huán)境下電接觸劣化。
鍍金的價(jià)值在于提供化學(xué)惰性表面、低接觸電阻、優(yōu)良可焊/可鍵合性與外觀穩(wěn)定,同時(shí)以Ni、Pd 等擴(kuò)散阻擋層限制Cu/W向金層擴(kuò)散,維持長(zhǎng)期性能。
二、材料特性與鍍前難點(diǎn)
W?Cu是“偽合金”,由多孔鎢骨架滲銅形成,表面通常同時(shí)暴露W與Cu:
相組成不均:局部銅富集或鎢富集,導(dǎo)致局部電位差,易在溶液中發(fā)生微電池效應(yīng)。
孔隙與陷液風(fēng)險(xiǎn):微孔易“吸附—滯留—遲滲”前處理藥液,后續(xù)在加熱或電沉積中滲出造成起泡、變色。
氧化膜固執(zhí):W氧化物致密且難溶,Cu氧化膜亦影響潤(rùn)濕與附著。
熱循環(huán)應(yīng)力:W與Cu熱膨脹差異疊加金/鎳層的應(yīng)力,易在熱沖擊中產(chǎn)生微裂或界面脫層。
因此,徹底清潔脫脂、受控粗化、選擇性活化與有效封孔,是進(jìn)入鍍層體系之前必須攻克的基礎(chǔ)。
三、典型工藝路線(xiàn)怎么選
根據(jù)終端需求與設(shè)備條件,可選三條主線(xiàn)(均以“打底—阻擋—金層”為核心思路):
化學(xué)鎳(Ni?P)打底 → 金電鍍
適用:形狀復(fù)雜、要求全面阻擋擴(kuò)散與良好可焊性。
特點(diǎn):化學(xué)鎳對(duì)異質(zhì)表面覆蓋性好,能均勻“封孔”;P含量中等(6%–10%)兼顧阻擋與可焊。
金層:軟金(純金)用于鍵合/低接觸電阻;硬金(微量Co/Ni)用于耐磨接觸。
電鍍鎳(硫酸鹽/氯化鎳)打底 → 金電鍍
適用:導(dǎo)電連續(xù)性好、幾何較規(guī)整的部件。
特點(diǎn):效率高、內(nèi)應(yīng)力可調(diào);對(duì)前處理潔凈與活化要求更高。
可加薄置換Pd或閃鍍Ni作為“黏結(jié)/過(guò)渡層”,改善初期附著。
PVD/濺射種子層(如TiW/Au或Cr/Ni/Au) → 金加厚電鍍
適用:超潔凈、真空/微波器件,或?qū)缑婵煽匦砸髽O高的場(chǎng)合。
特點(diǎn):界面清潔且可控,種子層致密;前期設(shè)備投入與單件成本較高。
小結(jié):以Ni(化學(xué)或電鍍)作主阻擋層 + Au面層最為通用;對(duì)高溫長(zhǎng)期應(yīng)用,可在Ni與Au之間加0.1–0.3 μm Pd進(jìn)一步抑制擴(kuò)散與孔蝕。
四、關(guān)鍵工序逐步拆開(kāi)
1)機(jī)械與化學(xué)前處理
去油/脫脂:超聲+堿洗,完全去除油污與拋光蠟。
受控粗化:細(xì)砂噴/刷光或化學(xué)微蝕,目標(biāo)是獲得“清潔且均勻的微觀粗糙度”,為化學(xué)鎳或電鍍提供機(jī)械咬合。
選擇性活化:
對(duì)銅相:弱酸活化(如稀H2SO4或絡(luò)合體系微蝕),去氧化膜。
對(duì)鎢相:采用復(fù)配活化(避免強(qiáng)腐蝕性體系對(duì)基體傷害),或借助微薄置換層過(guò)渡。
預(yù)烘—驅(qū)液:中溫烘干以排出微孔中殘液,降低后續(xù)“滲液起泡”。
2)打底層(阻擋/致密/封孔)
化學(xué)鎳(Ni?P):覆蓋性強(qiáng)、孔隙率低;厚度常取5–10 μm,P含量中等有利于阻擋與可焊的平衡。
電鍍鎳:當(dāng)基體導(dǎo)電連續(xù)性良好時(shí)可用;通過(guò)添加劑控制內(nèi)應(yīng)力并確保附著。
過(guò)渡層(可選):薄Pd(置換或電鍍)或快速閃鍍Ni,在難活化區(qū)域改善黏結(jié)。
3)金層沉積(功能面)
軟金(純金):用于金絲鍵合、低接觸電阻、微波低損,厚度常見(jiàn)0.8–2 μm。
硬金(Co/Ni微量合金化):用于插拔/滑動(dòng)接觸與耐磨外觀,常見(jiàn)1–3 μm;注意硬金對(duì)鍵合與高溫焊接的影響。
非氰化金(亞硫酸鹽):用于特定合規(guī)/安全需求;配方要點(diǎn)是控制雜離子與應(yīng)力,獲得足夠延展性與低孔隙率。
4)后處理與去氫/穩(wěn)定化
低溫烘烤(如150–200℃適當(dāng)時(shí)長(zhǎng)):驅(qū)除氫與殘留水分,穩(wěn)定界面應(yīng)力。
純水漂洗與干燥:高純水終洗,避免氯、硫殘留;必要時(shí)加酒精置換加速干燥。
封存與防硫化:使用低硫包裝材料,避免金層“發(fā)黃/發(fā)棕”。
五、層間材料與厚度的實(shí)用搭配
通用可焊/可鍵合:W?Cu / Ni(6–10 μm, P中等或低應(yīng)力電鍍Ni) / Au(1 μm軟金)。
高溫長(zhǎng)期(>150℃):W?Cu / Ni(8–12 μm) / Pd(0.1–0.3 μm) / Au(1–2 μm軟金)。
耐磨接觸:W?Cu / Ni(8–10 μm) / 硬金(1–3 μm)。
微波/低損外表面:優(yōu)先軟金,控制表面粗糙度與孔隙率,避免過(guò)厚硬金引入的內(nèi)應(yīng)力與損耗上升。
厚度不是越厚越好,關(guān)鍵是孔隙率、擴(kuò)散阻擋與應(yīng)力平衡。對(duì)真空或超潔凈件,寧可多一次“鎳—金分段沉積 + 中間清洗烘干”,也不要一次性厚鍍?cè)斐蓱?yīng)力積累。
六、與后續(xù)連接工藝的匹配
回流焊/釬焊:Ni作阻擋層能提供穩(wěn)定潤(rùn)濕;金層過(guò)薄易被消耗殆盡、過(guò)厚易形成脆性金化合物,需與焊料體系匹配。
金絲/鋁絲鍵合:軟金表面能保證拉球與頸部強(qiáng)度;若底層為高P化學(xué)鎳,先做小樣確認(rèn)鍵合窗口。
銀燒結(jié)/導(dǎo)電膠:關(guān)注表面能與粗糙度;適度粗化的金面有利于膠黏劑機(jī)械咬合,但要平衡微波損耗與接觸電阻。
七、可靠性驗(yàn)證怎么做更有把握
附著力:劃格/膠帶、推拉/剪切、彎折或剝離試驗(yàn)。
孔隙率與耐蝕:點(diǎn)蝕/變色觀察、加速腐蝕與蒸汽/氣體暴露;金層孔隙率過(guò)高易導(dǎo)致“點(diǎn)狀發(fā)黑”。
熱循環(huán)與熱沖擊:如?40~+125℃多循環(huán),檢查起泡、龜裂與界面電阻漂移。
潮熱:高溫高濕(例如85/85條件)下的外觀與電性能穩(wěn)定性。
電接觸與微波損耗:接觸電阻長(zhǎng)期漂移、S參數(shù)/插損穩(wěn)定性。
清潔度:離子污染、硫氯殘留與顆粒度,直接影響外觀與長(zhǎng)期腐蝕。
八、常見(jiàn)缺陷與對(duì)策
起泡/分層:多由前處理不徹底、陷液滲出或打底孔隙率高引起;加強(qiáng)驅(qū)液烘干、采用覆蓋性更強(qiáng)的化學(xué)鎳打底。
針孔/孔蝕:控制金層應(yīng)力與添加劑,必要時(shí)加入Pd過(guò)渡層降低孔隙率。
變色/硫化:杜絕含硫材料接觸(橡膠、紙板等),金層后續(xù)接觸與包裝全流程低硫化。
焊接脆裂:金層過(guò)厚或硬金參與焊料反應(yīng);優(yōu)化金厚與焊接曲線(xiàn)。
鍵合不良:表面污染或底層成分不利于鍵合;增加等離子清洗與鍵合參數(shù)窗口驗(yàn)證。
微波插損升高:表面粗糙或多孔致有效電阻增大;控制粗化程度與鍍層致密性。
九、環(huán)保與安全
藥液管理:若采用氰化金,必須嚴(yán)格的廢水與氣體收集處理;亞硫酸鹽金雖更友好,亦需控制金屬與硫酸根排放。
化學(xué)替代:在滿(mǎn)足性能的前提下,優(yōu)先選擇非氰化金、低鎳霧體系與低VOC清洗方案。
人員安全:活化與強(qiáng)氧化體系操作需完善的防護(hù)與通風(fēng),減少對(duì)基體與環(huán)境的過(guò)腐蝕與污染。
十、成本與交期怎么評(píng)估
影響成本的主因:
金厚與面積(金價(jià)波動(dòng)敏感);
打底類(lèi)型(化學(xué)鎳耗時(shí)與藥水成本高于電鍍鎳);
前處理復(fù)雜度(形狀復(fù)雜、孔洞多的件,清洗與驅(qū)液時(shí)間更長(zhǎng));
良率(起泡/變色返工幾乎等于重來(lái))。
交期通常由“樣件評(píng)估→前處理驗(yàn)證→打底穩(wěn)定→金層工藝窗口→可靠性快測(cè)”幾個(gè)里程碑決定;把鍍層結(jié)構(gòu)、厚度、外觀等級(jí)、檢驗(yàn)方法寫(xiě)進(jìn)技術(shù)協(xié)議,能顯著降低反復(fù)。
十一、從打樣到量產(chǎn):一份簡(jiǎn)明執(zhí)行清單
明確用途:焊接/鍵合/接觸/微波/真空(決定金的類(lèi)型與厚度)。
確認(rèn)基體:W?Cu含量與孔隙級(jí)別、表面狀態(tài)與尺寸公差。
選定路線(xiàn):化學(xué)鎳 or 電鍍鎳打底,是否加Pd過(guò)渡。
設(shè)定目標(biāo):Ni厚度、Au厚度、外觀與孔隙率、附著力、鍵合/焊接窗口。
前處理方案評(píng)審:脫脂—粗化—活化—驅(qū)液—潔凈度判據(jù)。
首件驗(yàn)證:截面金相、EDS界面觀察、附著力、焊/鍵合試驗(yàn)。
可靠性快測(cè):熱循環(huán)、潮熱、鹽霧/腐蝕(視應(yīng)用而定)。
工藝文件與抽檢:關(guān)鍵參數(shù)、藥液管控、批間一致性與抽檢頻次。
包裝與物流:低硫包裝、干燥劑、潔凈運(yùn)輸與存儲(chǔ)條件。
變更控制:任何厚度/配方/清洗更改均需再驗(yàn)證關(guān)鍵性能。
十二、應(yīng)用案例思路(選型參考)
功率器件基板/法蘭(需焊接+低接觸電阻):Ni 8–10 μm + 軟金 1–2 μm;對(duì)高溫長(zhǎng)期,Ni后加薄Pd。
探針/滑動(dòng)接觸(耐磨優(yōu)先):Ni 8–10 μm + 硬金 2–3 μm;定期評(píng)估接觸電阻漂移。
真空與微波部件(低損與清潔度優(yōu)先):PVD種子層 + 軟金電鍍至1–2 μm;全過(guò)程低硫、低氯與高純水終洗。
金絲鍵合墊:Ni 5–8 μm + 軟金 ≥1 μm;量產(chǎn)前做拉球/頸拉力與老化后復(fù)測(cè)。
鎢銅合金鍍金的成敗,九成決定于前處理與打底,剩下的一成在金層應(yīng)力與孔隙率控制。把“清潔—活化—封孔—阻擋—功能層”這條主線(xiàn)做扎實(shí),再按用途精確匹配金的類(lèi)型與厚度,并用熱循環(huán)/潮熱/附著力/孔隙率等試驗(yàn)把關(guān),基本就能得到穩(wěn)定可靠、可復(fù)制的結(jié)果。若有具體器件尺寸、應(yīng)用溫度與連接方式,給出這些邊界條件后,可以進(jìn)一步細(xì)化至可直接打樣的層次結(jié)構(gòu)與工藝窗口。
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